Pwodwi kategori
Kontakte nou

Haohai Estati meterials co, Ltd

Haohai Titàn co, Ltd


Adrès:

Plant No.19, TusPark, Syèk Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Lachin


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-mail:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



Sèvis liy telefòn dirèk
029 3358 2330

Nouvèl

Kay > NouvèlSanisfè

Alloy pulverizasyon Sib Nan Semiconductor Manufacturing

Aplikasyon nan Ni - Pt Alloy pulverizasyon Sib nan Semiconductor Manufacturing

Koulye a, nan metòd prensipal la nan prepare fim nikèl-platinum silisyur se nan premye fòme yon kouch ion enplantasyon nan rejyon an Silisyòm nan substra a semi-conducteurs, ak Lè sa prepare yon kouch kouch Silisyòm epitaxial planar sou li, Alloy pulverizasyon Sib ki te swiv pa sputerin sou mòn lan sifas nan kouch nan Silisyòm epitaxial planar pa mayetron sputerin Yon kouch NiPt fim, epi finalman atravè tout pwosesis la rkwir yo fòme nikèl fim platinum silisyur.

Nikèl Platinum silisyur Films nan aplikasyon Semiconductor Manufacturing:

1. Aplikasyon an Schottky Diodes Faktori: Yon aplikasyon tipik nan fim silisyur nikèl-platinum nan aparèy semi-conducteurs se Schottky diodes. Ak devlòpman sou Schottky teknoloji dyòd a jonksyon, metal silisyur - Silisyòm kontak te ranplase metal la tradisyonèl - Silisyòm kontak, pou fè pou evite domaj yo sifas ak kontaminasyon, diminye enpak la nan eta a sifas, amelyore karakteristik yo ki pozitif nan aparèy la, Pou presyon an, ranvèse enpak enèji, tanperati ki wo, anti-estatik, anti-boule kapasite. Nikèl platinum silisyur se baryè Schottky kontak materyèl la ideyal, sou alyaj la yon sèl men nikèl platinum kòm yon metal baryè, ak bon estabilite tanperati ki wo; lòt men an, nan alyaj chanjman sa yo rapò konpozisyon reyalize Ajisteman nan nivo baryè. Se metòd la prepare pa sputerin kouch nan alyaj nikèl-platinum sou N-kalite Silisyòm semi-conducteurs substra a pa sputerin mayetron ak rkwir vakyòm pou apeprè 30 minit nan a ranje 460-480 DEG C yo fòme kouch nan baryè NiPtSi-Si. Anjeneral tou bezwen bafouye HCV, TiW ak lòt baryè difizyon, bloke interdiffusion ki genyen ant metal la, amelyore anti-fatig pèfòmans aparèy la.

2. Aplikasyon nan semi-conducteurs entegre sikui: silisyur Nikèl-platinum yo tou lajman ki itilize nan aparèy yo Microelectronic tise VLSI nan sous la, Alloy pulverizasyon Sib drenaj, pòtay ak electrodes metal kontak. Koulye a, nan Ni-5% Pt (mol fraksyon) ki te avèk siksè aplike nan teknoloji 65nm, Ni-10% Pt (mol fraksyon) aplike nan teknoloji 45nm. Ak rediksyon an plis nan larjer a nan aparèy la semi-conducteurs, li se posib yo plis amelyore kontni an Pt nan alyaj la nikèl-platinum yo prepare NiPtSi kontak fim nan. Rezon prensipal ki fè se ke ogmantasyon an nan kontni an Pt nan alyaj la ka amelyore estabilite nan tanperati ki wo nan fim nan ak amelyore aparans la koòdone, diminye envazyon an nan defects.Alloy pulverizasyon sib Epesè nan kouch nan nikèl-platinum fim alyaj sou mòn lan sifas nan aparèy la Silisyòm korespondan se nòmalman apeprè 10 nM, ak metòd la itilize yo fòme silisyur nan nikèl-platinum se youn oswa plis etap. Tanperati a se nan seri a nan 400 a 600 ° C pou 30 a 60 an nan

Nan dènye ane yo, chèchè yo te nan lòd yo diminye rezistans a an jeneral nan silisyur nikèl-platinum, IBM nan patante de etap fabrikasyon NiPtSi mens fim: premye etap la nan depozisyon an nan kontni segondè Pt nan alyaj nikèl-platinum depozisyon fim mens, pi ba a fim alyaj nikèl-platinum pa menm gen Pt pi bon kalite nikèl film.Alloy pulverizasyon Sib fòmasyon nan nikèl-platinum fim silisyur sou sifas la nan ba Pt kontni an, ede diminye rezistans a an jeneral nan silisyur nikèl-platinum, se konsa nan nouvo nan teknoloji ne, li se posib yo sèvi ak diferan kontni Pt nan nikèl-platinum sputerin alyaj sib nikèl platinum silisyur kontak fim nan ak yon estrikti gradyan te prepare.